Измерительная система 3D MicroProf® FE

для полупроводниковых пластин

FRT MicroProf® FE - это стандартный, полностью автоматизированный 2D/3D инструмент компании FormFactor для метрологии пластин. Он сочетает в себе возможности уже зарекомендовавшего себя MicroProf 300 с системой обработки пластин в рамках модуля передней панели оборудования (EFEM). Благодаря полностью соответствующим требованиям SEMI метрологическим решениям и практически не требующим обслуживания аппаратным компонентам, обеспечивающим высокую производительность контроля, MicroProf FE является метрологическим решением для любого передового завода HVM. Помимо стандартной конфигурации, FRT MicroProf FE может быть оснащен многочисленными дополнительными функциями, которые также могут быть установлены позднее.