Измерительная система толщина MicroProf® MHU

плоскостностишероховатостироботизированная

Метрологический инструмент FRT MicroProf® MHU с блоком транспортировки материалов специально разработан для полупроводниковой, МЭМС, сапфировой и светодиодной промышленности. Типичными приложениями являются измерения голых и покрытых, а также структурированных пластин на различных этапах литографического процесса. Благодаря роботизированному манипулятору с двумя вакуумными концевыми эффекторами, инструмент имеет очень высокую производительность - до 220 пластин в час. Он способен обрабатывать пластины размером от 2 до 8 дюймов. Можно обрабатывать до 4 открытых кассет и, кроме того, имеется возможность интегрировать устройство предварительного выравнивания и считыватель OCR. Опция двустороннего измерения образца позволяет одновременно измерять верхнюю и нижнюю поверхность с определением толщины образца, общей вариации толщины (TTV) и различных параметров поверхности, таких как шероховатость, волнистость и плоскостность обеих сторон. Также возможно полное измерение формы вафли с анализом глобальных и локальных параметров вафли. Имеется функция сортировки вафель, которая настраивается в соответствии с требованиями заказчика. На основе технологии SurfaceSens в дальнейшем можно установить дополнительные датчики. Дальнейшим применением MicroProf MHU является определение толщины слоя тонких пленок, а также стопок слоев, измерение высоты ступеней, неровностей, отверстий (TSV), траншей и т.д.