Измерительная система для полупроводниковых пластин SiPh

микроскоп

Автономный ассистент измерения кремниевой фотоники от FormFactor устанавливает отраслевой стандарт в области измерений кремниевой фотоники на уровне пластин и матриц. Это очень гибкое решение обеспечивает множество технологий тестирования - от одиночных волокон до массивов и от вертикальной связи до краевой связи. Благодаря новой революционной системе OptoVue для расширенной калибровки, интеллектуальным алгоритмам машинного зрения и эксклюзивной системе SiPh TopHat для темной, экранированной и незамерзающей среды, система обеспечивает автономную калибровку и повторную калибровку без использования рук при различных температурах. Это позволяет ускорить время проведения более точных измерений и снизить стоимость испытаний. Использование отдельных оптических волокон и массивов волокон в качестве зондов для передачи света внутрь и наружу пластины для поверхностного и краевого соединения создает множество проблем, с которыми компания FormFactor справляется с помощью своей технологии Contact Intelligence. В отличие от электрических испытаний, в оптических испытаниях используются волокна и массивы волокон, которые не контактируют с соответствующими "площадками", известными как решетчатые соединители или грани на поверхности и кромке пластины, соответственно. Вместо этого волокна должны быть сочленены относительно соединителей и граней, чтобы найти положение максимальной передачи оптической мощности. Установка начального положения наконечников волокна или массива относительно решеток и граней, а затем оптимизация их положения осуществляется с помощью уникальных автоматизированных методов, разработанных инженерами компании FormFactor. Используя передовую обработку изображений и специально разработанные алгоритмы, можно установить высоту Z, зазор между волокном и фасеткой, а также выполнить набор автоматических калибровок решения для позиционирования на зондовой станции.