Автоматизированная система склеивания пластин EVG540 - это автоматизированная однокамерная производственная машина, предназначенная для опытного производства, а также для серийного производства в упаковке пластин, 3D-соединений и MEMS-приложений. Основанная на модульной конструкции, модель EVG540 представляет собой проверенное решение для будущего перехода от научно-исследовательских разработок к крупномасштабному производству на наших полностью интегрированных производственных системах склеивания пластин.
Особенности
Однокамерная обвязочная машина с размером подложки до 300 мм
Совместимость со SmartView® и MBA300
Автоматическая работа с четырьмя соединительными патронами (до 4-х штук)
Соответствие высоким стандартам безопасности
Технические данные
Максимальный размер нагревателя
300 мм
Загрузочная камера
2-х координатный робот
Макс. кол-во склеивающих камер
2
---