Откачка водяного пара
Криочиллер Polycold MaxCool 2500 L эффективно улавливает водяной пар, который составляет от 65 до 95 % остаточного газа в высоковакуумных системах.
Водяной пар, как правило, является наиболее реакционноспособным загрязнителем. Используя криочиллер MaxCool, вы можете рассчитывать на увеличение производительности существующей системы от 20 до 100 % и повышение качества осаждения.
Преимущество MaxCool
Сокращение времени высоковакуумной откачки до 75 %
Высокоскоростная откачка водяного пара: от 10 000 до 140 000 л/с в рабочей зоне
Увеличение пропускной способности от 20% до 100%
Более низкое парциальное давление водяного пара во время обработки для более высокого качества пленки, лучшей адгезии и воспроизводимого осаждения
По соотношению цена/производительность превосходит установки Meissners с охлаждением жидким азотом
Минимизация стоимости владения с помощью управления питанием
Высокая производительность охлаждения и нагрева для широкого спектра процессов
При добавлении к вашей вакуумной системе криоохладитель MaxCool может значительно сократить время откачки и увеличить производительность. MaxCool откачивает водяной пар в течение нескольких минут после запуска и может разморозиться менее чем за четыре минуты, обеспечивая настоящую возможность быстрого цикла. Также имеется опция Rapid Cool to Cool, которая устраняет период ожидания после размораживания. Для вашей системы это означает больше производственных циклов за смену.
Используя запатентованные смеси хладагентов Polycold, MaxCool работает по принципу улавливания Мейсснера. Водяной пар улавливается в результате конденсации на криогенно охлаждаемой поверхности, называемой змеевиком Мейсснера. Змеевик Мейсснера (криокатушка) устанавливается непосредственно в вакуумной камере, поэтому проводимость не ограничивается портами, коллекторами, клапанами и перегородками.
---