Турбомолекулярный вакуумный насос iXL

сухойодноуровневыйплазменный

это серия компактных сухих насосов с низким энергопотреблением, предназначенных для работы в легких условиях, таких как обработка пластин, PVD и метрология. Быстрый спуск насоса из камеры и чрезвычайно низкое энергопотребление Сухие насосы iXL600(N) и iXL1000(N) являются одними из самых маленьких и тихих насосов, доступных для применения в легких условиях эксплуатации Варианты iXL600M и iXL1000M закалены и специально разработаны для диэлектрического (оксидного) травления и других подобных применений Сухие насосы iXL600(N) и iXL1000(N) отличаются высокой скоростью перекачки и низким энергопотреблением IXL900R является самым быстрым насосом для блокировки нагрузки в своем классе для приложений, связанных с блокировкой нагрузки FPD. С помощью этого нового насоса заказчики смогут значительно сократить эксплуатационные расходы и время установки, который особенно хорошо подходит для самых больших камер блокировки нагрузки, используемых в системах плазменного осаждения из паровой фазы (PVD). Кроме того, заказчикам потребуется меньше насосов на одну камеру загрузки, что сокращает время установки, расходы на систему, техническое обслуживание и потребление коммунальных услуг. Зеленый режим позволяет сократить потребление коммунальных услуг в периоды простоя, что снижает затраты и помогает улучшить экологические показатели