Вакуумный насос типа Рутс iXM

сухойодноуровневыйдля газов

Более экологичные и надежные, с низкой стоимостью владения Наш инновационный ассортимент сухих насосов предлагает вам передовые технологии, разработанные для улучшения условий производства полупроводников и электроники. Каждая серия была специально разработана для обеспечения преимуществ в экологических характеристиках, надежности в суровых условиях и маневренности в легких условиях эксплуатации. Сухие насосы Edwards серии iXM с низким энергопотреблением могут реально улучшить технологический процесс, увеличив время безотказной работы, снизив воздействие на окружающую среду и сократив расходы на наиболее ответственные приложения. Энергоэффективный корневой механизм позволяет снизить потребляемую мощность до 60 %, уменьшая воздействие на окружающую среду и снижая стоимость владения Технология газового барьера и усовершенствование тепловой конструкции обеспечивают в 4 раза большую коррозионную стойкость по сравнению с предыдущими сериями Усовершенствованные функции обработки порошка обеспечивают максимальную надежность и увеличенный срок службы насоса для процессов многослойного травления Сниженное энергопотребление для процессов CVD Компактная и легкая конструкция в сочетании с исключительно низким уровнем шума и вибрации обеспечивает большую универсальность Серия iXM доступна с технологией XCEDE для повышения коррозионной стойкости.