Роботизированная система Versa

Запатентованная кластерная платформа Versa компании Denton Vacuum представляет собой автоматизированный вариант передней панели для крупносерийного производства. Она может иметь до двух замков загрузки кассет и шесть камер или модулей для нанесения покрытий. Роботизированный манипулятор полупроводникового класса перемещает подложки из замков загрузки в модули для нанесения многослойного покрытия из различных материалов без нарушения вакуума. Установка Versa предназначена для работы с 200- или 300-миллиметровыми технологическими модулями. Она совместима с модулем напыления Discovery и системой Voyager PE-CVD, имеет специальные модули травления напылением и специальные метрологические опции. Имеется также специальный модуль предварительной очистки, а также система кондиционирования подложек. Для обеспечения крупносерийного производства при осаждении тонких пленок Versa работает на программном обеспечении ProcessPro-HV компании Denton, которое использует полностью автоматизированный планировщик материалов и менеджер рецептов для загрузки модулей и выполнения технологических операций в нескольких камерах с точностью и эффективностью. ProcessPro-HV соответствует стандарту SEMI E95 и включает в себя всестороннюю регистрацию данных и построение диаграмм в рамках инструмента для контроля и анализа процесса. Versa позволяет повысить эффективность производства для удовлетворения более высоких требований к пропускной способности. Он автоматизирует процесс загрузки, чтобы вы могли максимально повысить эффективность, и совместим как с осаждением металлов, так и оксидов. Многокамерная конфигурация позволяет наносить покрытия на несколько слоев одновременно без нарушения вакуума, и вы можете сэкономить время, продувая только замок загрузки кассеты, а не весь модуль напыления.