Машина для нанесения покрытий методом катодного распыления с магнетроном Discovery 635

Проверенная на производстве платформа Discovery может работать с подложками до 300 мм. Кластерная конфигурация делает ее подходящей для многослойных, чувствительных к кислороду приложений и требований высокой пропускной способности. Платформа позволяет осуществлять напыление постоянным током, импульсным постоянным током и радиочастотное напыление, которые отличаются конфигурацией с одним катодом для обеспечения высокой однородности, а также возможностью совместного конфокального напыления. Запатентованная компанией Denton технология PEM обеспечивает высокоскоростное реактивное напыление оксидов и нитридов металлов. Также возможно ионное осаждение. Независимые электропневматические затворы источников и дымоходы позволяют предотвратить перекрестное загрязнение исходного материала. Несколько конфигураций насосов, включая криогенные и турбо, а также варианты размещения насосов обеспечивают гибкость конструкции, необходимую для удовлетворения ваших требований к технологическому процессу и производительности. Крупносерийное производство Усовершенствованные оптические фильтры Биосовместимые покрытия для медицинских имплантатов Тонкопленочные резисторы и датчики Металлические и диэлектрические пленки для подложек Изготовление гибридных схем большой площади Металлические контакты составных полупроводников Исследования и разработки Система магнетронного напыления Discovery обеспечивает универсальность и надежность при удовлетворении потребностей крупносерийного производства. Эта система осаждения тонких пленок может быть оснащена либо одним катодом с высокой однородностью для крупносерийного производства, либо 4 конфокальными катодами с трехосевой регулировкой смещения, расстояния от мишени до подложки и угла для равномерного покрытия. Каждый катод может быть оптимизирован для различных методов осаждения или материала мишени.