Система наблюдения плотности LambdaPro® OMS

для электронной промышленностилазероптическая

Система LambdaPro® OMS компании Denton Vacuum позволяет максимизировать выход продукции за счет управления процессом осаждения во время работы и достижения повторяемости результатов от работы к работе. LambdaPro OMS контролирует свойства оптики в режиме реального времени в процессе осаждения, используя отражение или прохождение через подложку или чип-свидетель. Этот прямой контроль подложки или косвенный контроль чипа-свидетеля позволяет завершить осаждение на требуемой оптической толщине. Система оптического мониторинга LambdaPro® обладает широкими возможностями конфигурирования в соответствии с вашими точными спецификациями и позволяет увеличить выход продукции при производстве многослойной оптики. Это решение предлагает полную интеграцию в систему с компьютерным управлением Denton, обеспечивая высокую скорость сканирования сигнала и аналого-цифровое преобразование, работая как в режиме отражения, так и в режиме пропускания. Антиотражающие и высокоотражающие покрытия Лазерные грани Оптические датчики и фильтры Полоснопропускающие фильтры Инфракрасные фильтры и покрытия Фильтры нейтральной плотности Металлизация Расщепители луча LambdaPro® OMS обеспечивает значительные результаты по оптической толщине и однородности для нескольких стеков пленок, одновременно предоставляя четкое представление о достигаемом индексе в режиме реального времени, а также стехиометрии пленки. Поскольку наш OMS измеряет оптическую толщину, а не физическую, это решение отлично подходит для сложных многослойных оптических стеков.