Машина для нанесения покрытий методом катодного распыления с магнетроном Discovery Isoflux

Инвертированное цилиндрическое магнетронное напыление, или ICM-напыление, - это запатентованная технология осаждения тонких пленок, которая позволяет наносить пленки с превосходной однородностью, независимо от геометрии подложки. При ICM-напылении выполняются те же технологические операции, что и при обычном магнетронном напылении. Когда положительно заряженные ионы из генерируемой плазмы сталкиваются с отрицательно заряженной мишенью, атомы выбрасываются или распыляются на подложку для создания тонкой пленки. В типичной конфигурации магнетронного напыления используются плоские катоды, а в ICM-напылении - цилиндрические катоды. Подложка располагается внутри цилиндра, и вместо того, чтобы распыляться вверх или вниз, цилиндрический катод распыляется внутрь подложки. Такая геометрия позволяет достичь высокой степени однородности на трехмерных или изогнутых подложках без снижения скорости осаждения или дополнительных этапов процесса для вращения. Инвертированное цилиндрическое магнетронное распыление - отличный вариант для приложений, требующих равномерного покрытия на изогнутых, трехмерных или сложных подложках. ICM-напыление обеспечивает повторяемость, необходимую для прецизионной оптики, и обеспечивает более рациональный процесс нанесения покрытий на линзы и другие изогнутые поверхности. Обычно для обеспечения покрытия всех сторон необходимо добавлять вращение или планетарное движение, но это замедляет процесс и усложняет процесс нанесения покрытия. Благодаря напылению на всю поверхность сразу, ICM-напыление снижает сложность процесса, обеспечивая более высокую однородность и контроль. Наряду с прецизионной оптикой, ICM-напыление также обеспечивает очень высокую однородность толщины покрытий для медицинского оборудования, например, имплантатов. Надежность таких покрытий имеет решающее значение для обеспечения безопасности пациентов.