Недиспергирующий инфракрасный датчик газа Gasboard-2061

для измерения процессовдля полупроводникового монитора очистки газовдля контроля процесса

Обзор
Gasboard-2061 — NDIR-датчик для измерения концентрации WF6 в реальном времени и определения конечной точки (EPD) в камерах осаждения CVD с вольфрамом (WCVD). Датчик обеспечивает чувствительные и воспроизводимые показания в вакууме и при технологических условиях, что позволяет точно определять конец процесса очистки и снижать расход очищающего газа.

Конструкция и интеграция
Компактный модульный Gasboard-2061 разработан для простой установки в вакуумные технологические линии. Конструкция из 316L и герметичная оптическая схема обеспечивают стойкость к коррозионным процессным газам. Поддерживаются аналоговые и цифровые интерфейсы ввода/вывода и связь RS485 для калибровки, логирования данных и интеграции в системы управления процессом.

Особенности

• NDIR-технология, оптимизированная для измерения WF6.
• Быстрое время отклика для отслеживания изменений концентрации в реальном времени.
• Низкий дрейф нуля и высокая повторяемость для стабильных измерений.
• Герметичная конструкция, подходящая для вакуумных сред.
• Коррозионно-стойкая конструкция из 316L для работы в агрессивных процессных условиях.
• Аналоговые выходы (0–5 V или 4–20 mA), аналоговый вход и цифровые I/O для гибкой интеграции.

Технические характеристики (таблица)
Измеряемый компонент: WF6
Диапазон: 0–200 mTorr
Повторяемость: ±0,5%
Точность: ±1% F.S.
Напряжение питания: 24 VDC
Ток потребления: 1,5 A (макс.)
Аналоговый выход: 0–5 VDC (4 канала) или 4–20 mA (4 канала)
Аналоговый вход: 0–10 VDC (1 канал)
Цифровой выход: 4 канала
Цифровой вход: 1 канал
Связь: RS485
Порт отбора пробы: NW25
Утечка: ≤1 x 10-6 Pa·m3/s (He)
Рабочая температура окружающей среды: 20–35 ℃

Примечания к условиям измерений
1. Все данные измерены при стандартном атмосферном давлении.
2. Калибровочные газы поставляются аккредитованными метрологическими институтами; газы разведены в сухом N2 (чистота ≥99,999%).
3. Приведённые характеристики определены после калибровки; каждый датчик проходит 100% калибровку при производстве.
4. Измерения проводятся при температуре окружающей среды 25 °C.

Технические данные

• Модель: Gasboard-2061
• Измеряемый газ: WF6
• Диапазон: 0–200 mTorr
• Повторяемость: ±0,5%
• Точность: ±1% F.S.
• Питание: 24 VDC
• Макс. рабочий ток: 1,5 A
• Аналоговые выходы: 0–5 VDC (4 канала) или 4–20 mA (4 канала)
• Аналоговый вход: 0–10 VDC (1 канал)
• Цифровые выходы: 4 канала; цифровой вход: 1 канал
• Интерфейс связи: RS485
• Порт отбора пробы: NW25
• Утечка (He): ≤1 x 10-6 Pa·m3/s
• Рабочая температура окружающей среды: 20–35 ℃
• Конструкция: коррозионностойкие материалы 316L; герметичная конструкция, подходящая для вакуумных сред