Недиспергирующий инфракрасный датчик газа Gasboard-2060

инфракрасныйдля измерения процессовдля полупроводникового монитора очистки газов

Обзор продукта
Gasboard-2060 — NDIR-датчик газа для измерения SiF4, разработанный для оперативного определения конечной точки (EPD) при очистке камер CVD в полупроводниковом производстве. Датчик оснащён специализированной газовой камерой и оптикой для селективного измерения концентрации SiF4 и предназначен для интеграции в системы управления процессом через аналоговые и цифровые интерфейсы. Gasboard-2060 обеспечивает быстрый отклик и пригоден для управления процессом очистки камер.

Особенности

• NDIR-детекция, оптимизированная для SiF4.
• Быстрый отклик (T90＜2s) для точного определения конечной точки очистки.
• Стабильный выход с низким нулевым дрейфом и высокой воспроизводимостью.
• Модульная компактная конструкция для простой установки и обслуживания.
• Аналоговые (1–10VDC) и цифровые (RS232) выходы; порт отбора проб KF16.

Технические характеристики
Измеряемый газ: SiF4
Принцип детекции: NDIR (недисперсионная инфракрасная)
Диапазон: (0.0–0.2) Absorbance
Время отклика: T90＜2s
Частота передачи данных: 0.5s
Аналоговый выход: 1–10VDC
Питание: 15VDC (≤300mA) или 24VDC
Цифровая связь: RS232
Порт отбора проб: KF16
Габариты: 200 × 120 × 75,5 мм
Утечка: ＜1×10-8 Pa·m3/s (He)
Температура эксплуатации: 5～65 ℃

Технические данные

• Измеряемый газ: SiF4
• Принцип детекции: NDIR
• Диапазон: (0.0–0.2) Absorbance
• Время отклика: T90＜2s
• Частота передачи данных: 0.5s
• Аналоговый выход: 1–10VDC
• Питание: 15VDC (≤300mA) или 24VDC
• Цифровая связь: RS232
• Порт отбора проб: KF16
• Габариты: 200×120×75,5 мм
• Утечка: ＜1×10-8 Pa·m3/s (He)
• Температура эксплуатации: 5～65 ℃