Зонд для кислорода

для электроникидля измерениймембранный

Общая информация
Вакуумный кислородный зонд ZIROX использует потенциометрическую ячейку из циркониевого (ZrO2) твердого электролита в качестве измерительного элемента. Между измерительным и эталонным электродами возникает напряжение, пропорциональное логарифму отношения парциальных давлений кислорода, которое по уравнению Нернста можно перевести в парциальное давление кислорода. В соединительной головке размещены управление нагревом, электроника обработки сигнала и мембранный насос для подачи эталонного газа.

Области применения
Зонд предназначен для определения парциального давления кислорода в низкотемпературных/низкодавленииых установках. Типичные применения: вакуумные процессы (PVD, магнетронное распыление), другие плазменные и процессы обработки поверхностей, а также исследования материалов.

Примечание по калибровке
В отличие от атмосферных ZIROX-зондов вакуумные зонды не являются некалибруемыми: из‑за размещения нагревателя внутри трубки и давления‑зависимых тепловых условий у измерительного электрода нельзя обеспечить изотермические электроды. Для управления процессом часто достаточно эмпирической калибровки; для точных измерений пользователь должен выполнить пробные калибровки.

Технические данные — Вакуумный зонд

• Длина вставки: 140...300 мм
• Диаметр зонда: 6 мм (16 мм с защитной трубкой)
• Масса: 1,5 кг
• Габариты клеммной головки: 150 x 63 x 35 мм
• Степень защиты: IP54
• Фланец: KF40 (другие по запросу)
• Макс. температура у фланца: 60 °C
• Питание: 24 V DC ± 10 %
• Потребляемый ток: 1,2 A
• Мощность нагрева: 30 W
• Диапазон давления: 1,5 x 10^5 ... 1 x 10^-5 Pa
• Диапазон напряжения датчика: 0...400 mV или 0...1200 mV (переключение на плате)
• Диапазон парциального давления кислорода: 1 x 10^5 ... 1 x 10^-21 Pa
• Выходной сигнал: 0–20 mA
• Точность: < 5 % относительная погрешность (для использования в процессе)
• Рабочая температура датчика: 700 °C (электронное регулирование)
• Смещение (с защитной гильзой): -15...-20 mV
• Утечка гелия: < 10^-8 mbar·L/s
• Допустимая скорость потока газа: макс. 10 m/s
• Эталонный газ: воздух
• Расход эталонного газа (внутренний насос): ок. 5...10 L/h

Назначение контактов
Тип разъёма: Type 423, 6‑контактный, Binder (арт.: 99-5622-15-06)

• 1: +24 V
• 2: GND
• 3: + Iout (20 mA соответствует 400 или 1200 mV в зависимости от настройки)
• 4: - Iout
• 5: Ready контакт (потенциально свободный) — 60 V/1 A DC или 125 V/1 A AC
• 6: (нет назначения)