Анализируйте мельчайшие МЭМС-датчики или целые плоские панели с помощью ZEISS Axio Imager Vario. Его колонная конструкция позволяет одновременно исследовать очень большие образцы, обеспечивая высокую стабильность. Кроме того, Axio Imager Vario сертифицирован для использования в чистых помещениях.
Изучение больших образцов
Совместимость с чистыми помещениями
Всегда в фокусе
Изучение больших образцов
Выберите ручную или моторизованную колонну и воспользуйтесь преимуществами, позволяющими исследовать образцы с максимальным размером 300 мм × 300 мм и максимальной высотой 254 мм. При работе с тяжелыми образцами или в сочетании с конфокальным лазерным сканирующим микроскопом ZEISS LSM для материалов - прочная конструкция колонны обеспечивает надежную устойчивость и предотвращает вибрации
К проверке пластин и фотомасок предъявляются чрезвычайно строгие требования в отношении чистоты. Поэтому они проводятся в чистых помещениях. Они классифицируются в соответствии с DIN EN ISO 14644-1, различаясь по количеству и размеру частиц на м³. Axio Imager Vario сертифицирован в соответствии с этим стандартом и отвечает требованиям класса чистоты 5. Класс чистого помещения ISO 5 эквивалентен классу 100 бывшего стандарта FED STD 209E (1992).
В фокусе в любое время
При исследовании отражающих, малоконтрастных поверхностей просто оснастите ваш Axio Imager Vario эффективной аппаратной автофокусировкой. Она гарантирует высокую точность как для отраженного, так и для проходящего света. Датчик обнаруживает изменения в положении фокуса, и любые отклонения компенсируются автоматически. Даже крупные образцы остаются идеально сфокусированными при перемещении.
---