Керамика с дисками 69299-00001-9068

из карбида кремниявысокотемпературная

Краткое описание
Эти пористые керамические диски из SiC предназначены для точного вакуумного удержания и систем воздушной подушки (air-floating) в полупроводниковом и высокотехнологичном производстве. Изготовленные из карбида кремния, они обладают высокой твердостью, хорошей теплопроводностью и химической стойкостью, обеспечивая стабильную силу вакуумного удержания и равномерное распределение воздушного потока. Диски обеспечивают бесконтактную, малоповреждающую обработку пластин, панелей и тонких подложек, пригодную для высокотемпературных и высокоточных производственных процессов.

Характеристики продукта (сводка)
Формула: SiC
Форма: Диск
Материал: Пористая керамика из карбида кремния
Номер CAS: 409-21-2
Товар: Пористый керамический диск

Характеристики / допуски (диск)
Толщина: 2 мм (допуск ±0,1 мм)
Наружный диаметр: 80 мм (допуск ±0,1 мм)

Физические свойства
Плотность: 2,0 - 2,2 г/см³

Механические свойства
Твердость (HRA): ≥ 40,00

Типичные применения

• Системы вакуумных захватов для полупроводников (шлифовка пластины, разделение пластины, вакуумные захваты для печати)
• Очистка вакуумных захватов
• Вакуумные захваты для переноски и обработки
• Прецизионные платформы с воздушной подушкой и воздушные подшипники
• Производство панелей для ЖК и OLED-дисплеев
• Микроэлектронная обработка полупроводников
• Обработка стекла и панелей для мобильных телефонов
• Процессы тонкоплёночной обработки
• Лазерные технологические платформы
• Системы печати и нанесения покрытий
• Фотовольтаика и производство солнечных элементов

Ключевые особенности

• Равномерная и стабильная пористая структура
• Надёжная вакуумная адсорбция
• Равномерное распределение воздушного потока для приложений с воздушной подушкой
• Подходит для бесконтактной, малоповреждающей обработки
• Высокая размерная точность и воспроизводимость
• Разработано для чистых производственных сред (чистые помещения)

Спецификации и варианты

• Доступны несколько размеров и толщин
• Различные структуры пор для соответствия требованиям по нагрузке и процессу
• Единое распределение пор по спецификациям

Технические характеристики / Спецификации

• Формула: SiC
• Форма: Диск
• Материал: Пористая керамика из карбида кремния
• Номер CAS: 409-21-2
• Товар: Пористый керамический диск
• Толщина диска: 2 мм (допуск ±0,1 мм)
• Наружный диаметр: 80 мм (допуск ±0,1 мм)
• Плотность: 2,0 - 2,2 г/см³
• Твердость (HRA): ≥ 40,00
• Доступные размеры пор: напр. 15 μm и 30 μm
• Упаковка: 1 шт. в единице