Керамика с дисками

из оксида алюминия

Краткое описание Эта серия пористых керамических дисков из оксида алюминия (Al₂O₃) разработана для прецизионного вакуумного удержания и применений с воздушной плавающей опорой в полупроводниковой и передовой промышленной среде. Равномерная пористая структура обеспечивает стабильную вакуумную удерживающую силу и равномерное распределение потока воздуха, что позволяет безконтактную обработку без повреждений пластин, панелей и тонких подложек.

Типичные применения

• Системы вакуумных захватов для полупроводников (вакуумный захват для шлифовки пластин; вакуумный захват для dicing; вакуумный захват для печати)
• Очистка вакуумного захвата
• Перемещение и обработка с использованием вакуумных захватов
• Прецизионные воздушные подшипники и платформы с воздушной подушкой
• Производство ЖК- и OLED- панелей
• Микроэлектронная обработка полупроводников
• Обработка стекла и панелей для мобильных телефонов
• Обработка тонких пленок
• Платформы лазерной обработки
• Системы печати и нанесения покрытий
• Фотовольтаическая и солнечная промышленность

Ключевые характеристики

• Равномерная и устойчивая пористая структура
• Надежная вакуумная адсорбция
• Равномерное распределение воздуха для приложений с воздушной подушкой
• Подходит для безконтактной, минимально повреждающей обработки
• Высокая точность размеров и стабильность
• Разработано для сред с высокой чистотой производства

Характеристики продукта (общие)

• Доступны несколько размеров и толщин
• Различные структуры пор для соответствия требованиям по нагрузке и процессу
• Последовательное распределение пор по всем спецификациям

Идентификация продукта / состав Formula: Al₂O₃
Forms: Discs
Materials: Alumina Porous Ceramic
CAS Number: 1344-28-1
Commodity: Porous Ceramic Discs

Спецификации / Допуски (Диск)
Толщина: 2,5 мм ±0,1 мм
Внешний диаметр: 151,6 мм ±0,1 мм

Физические свойства
Плотность (г/см³): 2,3 - 2,5

Механические свойства
Твердость (HRA): ≥ 50.00

Технические характеристики / спецификации

• Formula: Al₂O₃ (alumina porous ceramic)
• Типичный размер диска (пример варианта): D151,6 × 2,5 мм (диаметр × толщина)
• Допуск по толщине: ±0,1 мм
• Допуск по внешнему диаметру: ±0,1 мм
• Типичный размер пор (пример варианта): 30 μm
• Плотность: 2,3–2,5 g/cm³
• Твердость: HRA ≥ 50.00
• Цвет (пример варианта): сине-серый
• Упаковочная единица (пример варианта): 1 шт. в упаковке
• Типичные применения: вакуумные захваты, платформы с воздушной подушкой, обработка панелей, процессы тонких пленок и лазерная обработка
• Предназначено для чистых помещений / прецизионных производственных сред
• Доступно в различных размерах, толщине и вариантах структуры пор для соответствия требованиям по нагрузке и процессу
• SKU (пример варианта): 69298-00001-1168