Система распределения для газов GSDS-Series

Системы подачи газа (GSDS) компании Veeco в основном используются для управления работой газовых источников MBE компании Veeco. Они также могут использоваться для точного управления газами и замками, а также для мониторинга процессов для различных типов газа. Эти устройства оснащены программным обеспечением Molly® ECS1 для контроля роста, которое позволяет быстро интегрироваться в существующие системы. Системы подачи газа доступны в 3 модельных конфигурациях, специально разработанных и изготовленных в соответствии с требованиями заказчика, требованиями применения и бюджетом. Все комплекты включают в себя ручные запорные клапаны газопровода для каждого контура, устройства для очистки газового фильтра и регуляторы массового расхода. Также поставляются клапаны с пневматическим приводом.