Система МЛЭ GEN930®

Система GEN930 MBE компании Veeco подходит для разработки материалов III-V или II-VI в комплекте с непосредственным соединением насоса для работы с нитридами и оксидами. Инструмент имеет модульную конструкцию, которая обеспечивает экономичное и гибкое решение, способное обеспечить проверенное качество материала. Данное оборудование может быть интегрировано с аналитическим оборудованием для мониторинга процессов роста на месте. Кроме того, прибор предлагает универсальную платформу для мониторинга на месте, такую как RHEED, пирометрия, эллипсометрия, RGA, оптический мониторинг потока и спектроскопия отражательной способности.