Система МЛЭ GEN20™

Система MBE ™ GEN20 добро - одетое для пользы с материалами исследованием и применениями окружающих сред pre-production. Она приходит с конфигурируемыми cryopanel, манипулятором и контрольным оборудованием. Через свою структуру модульного проектирования, свою могл приспособить до 2 модуля роста. Структура обеспечивает то ручное автоматизированных вариантов перехода вафли. Она изготовлена с вертикальным источником к ориентации субстратов. Это сделано возможной через 12 порта источника MBE. Вариант для того чтобы добавить технологию e-луча также включен.