Машина для нанесения покрытий MOCVD TurboDisc EPIK 868

катодным распылениемтонких слоевс вращающимися катодами

Передовая производительность при максимальной капитальной эффективности и экономии занимаемой площади EPIK® 868 от Veeco - это самая высокопроизводительная в светодиодной промышленности система MOCVD, которая обеспечивает превосходную однородность и повторяемость с низким уровнем дефектности. Доступная в четырехреакторной конфигурации, установка EPIK 868 оснащена передовыми технологиями, включая запатентованные технологии IsoFlange™ и TruHeat™, которые обеспечивают ламинарный поток и равномерный температурный профиль по всему носителю пластины. Эти технологические инновации обеспечивают более высокую производительность, необходимую для производства мини- и микросветодиодов. В EPIK 868 используется технология TurboDisc®, которая обеспечивает высочайшую готовность и время безотказной работы системы. Разработанный для массового производства, высокопроизводительный носитель EPIK 868 вмещает несколько пластин размером 4" или 6", что обеспечивает самую низкую стоимость владения. Клиенты могут легко перенести процессы с существующих систем TurboDisc на новую платформу EPIK 868 MOCVD для быстрого запуска производства высококачественных мини- и микросветодиодов. Отличная однородность с низкой дефектностью Компактная кластерная архитектура Архитектура с высокой пропускной способностью для максимального производства