Машина для нанесения покрытий MOCVD TurboDisc K475i As/P

тонких слоев

Самая высокопроизводительная система MOCVD с лучшими в своем классе показателями производительности Новая система TurboDisc K475i As/P MOCVD компании Veeco является лучшим в отрасли реактором для производства красных, оранжевых, желтых (R/O/Y) светодиодов, а также многофункциональных солнечных элементов III-V, лазерных диодов и транзисторов. Система K475i отличается новой конструкцией реактора, в которой используется технология Uniform FlowFlange™ компании Veeco, позволяющая получать пленки с очень высокой однородностью и улучшенной воспроизводимостью внутри волн и между вафелями при самом низком в отрасли уровне образования частиц. Простая конструкция технологии Uniform FlowFlange обеспечивает простоту настройки для быстрой оптимизации процесса и быстрого восстановления инструмента после обслуживания для достижения максимальной производительности в таких областях применения, как освещение, солнечная энергия, лазерные диоды, псевдоморфные транзисторы высокой мобильности электронов (pHEMT) и биполярные транзисторы (HBTs). Новая технология Uniform FlowFlange обеспечивает лучшую в своем классе однородность и воспроизводимость процесса, что позволяет повысить производительность Прочная конструкция реактора обеспечивает простоту использования и быстрое восстановление после технического обслуживания для максимального времени безотказной работы Самая высокая производительность в отрасли благодаря полной автоматизации Проверенная временем производственная платформа обеспечивает наименьшую стоимость владения