Машина для нанесения покрытий MOCVD TurboDisc EPIK™ 700

Сочетание лучших в своем классе выходных данных и самой высокой производительности для снижения производственных затрат на светодиодную продукцию Отмеченная наградами система EPIK® 700 MOCVD компании Veeco является самой производительной в светодиодной промышленности системой MOCVD, которая снижает стоимость одной пластины на 20% по сравнению с предыдущими поколениями. Доступный в одно- и двухреакторных конфигурациях, EPIK 700 отличается передовыми технологиями, включая новый поток IsoFlange™ в центре впрыска и TruHeat™ катушки пластин, которые обеспечивают однородный ламинарный поток и равномерный температурный профиль по всему держателю пластин. Эти технологические инновации обеспечивают однородность длины волны для повышения производительности в более узком бункере. Благодаря большому размеру реактора EPIK 700 имеет преимущество в производительности в 2,5 раза по сравнению с другими системами. Предназначенный для массового производства, EPIK 700 вмещает держатели пластин размером 31x4", 12x6" и 6x8". Клиенты могут легко перенести процессы с существующих систем TurboDisc на новую платформу EPIK 700 MOCVD для быстрого запуска производства высококачественных светодиодов. Благодаря гибкой платформе EPIK 700 MOCVD, дополнительные усовершенствования, дополнительные преимущества и будущие усовершенствования будут продолжать выделять эту систему на фоне других систем мирового класса. Экономия до 20% на одну пластину по сравнению с предыдущими поколениями Лучшая в своем классе однородность и воспроизводимость процесса обеспечивают более высокую производительность в более узком бункере Самый высокопроизводительный реактор в отрасли дает 2,5-кратное преимущество по производительности по сравнению с предыдущими реакторами Максимальное производство с проверенной автоматизацией, повышенной эксплуатационной надежностью, длительными кампаниями между техническим обслуживанием и улучшенной эффективностью использования пространства по сравнению с системой MOCVD MaxBright™