SEM-аналитика высокого разрешения для рутинного определения характеристик материалов, исследований и контроля качества в субмикронном масштабе
Сканирующий электронный микроскоп (СЭМ) четвертого поколения TESCAN MIRA с источником эмиссии электронов FEG Schottky сочетает в одном окне программного обеспечения TESCAN Essence™ получение СЭМ-изображений и анализ элементного состава в реальном времени. Это сочетание значительно упрощает получение как морфологических, так и элементарных данных из образца, делая MIRA SEM эффективным аналитическим решением для рутинного контроля материалов в лабораториях контроля качества, анализа неисправностей и исследований.
- Аналитическая платформа с полностью интегрированной системой TESCAN Essence™ EDS, которая эффективно сочетает в одном окне программного обеспечения Essence™ визуализацию СЭМ и анализ элементного состава.
- Оптимальные условия для получения изображений и анализа сразу же становятся доступными благодаря уникальной безапертурной оптической конструкции TESCAN, основанной на технологии In-flight Beam Tracing™.
- Легкая и точная СЭМ-навигация на образце при увеличении до 2× без использования дополнительной оптической навигационной камеры благодаря уникальной конструкции Wide Field Optics™.
- Режим SingleVac™ в качестве стандартной функции для наблюдения заряженных и чувствительных к лучу образцов.
- Интуитивно понятное и модульное программное обеспечение Essence™, разработанное для легкой работы независимо от уровня опыта пользователя.
- Максимальная безопасность детекторов, установленных в камере, когда столик и образец находятся в движении, гарантируется моделью Essence™ 3D Collision.
- Доступны опциональные детекторы в колонках SE и BSE, включая технологию замедления луча для улучшения качества изображения при более низких напряжениях ускорения.
---