Вертикальная линейная машина для нанесения покрытий методом катодного распыления 2SV2215MR

для зеркала

Вертикальная система напыления 2SV2215MR представляет собой модульную гибкую систему, предназначенную для осаждения одно- и двухсторонних многослойных стопок на плоское стекло. Поточная система используется для производства архитектурного, фотоэлектрического, художественного и садоводческого стекла. Техника и технологии Система выполнена в виде односторонней конструкции с камерами запирания, переноса и осаждения. На входе/выходе системы расположены роботизированные станции загрузки и выгрузки стекла, а также магазин замены носителей. Камера для поперечного перемещения кассет служит для передачи стекла из прямого потока в обратный для нанесения покрытия на вторую сторону стекла. Для удержания и переноса стекла используются индивидуальные носители, стекло располагается вертикально без наклона. Вертикальное расположение стекла и магнетронов обеспечивает осаждение без частиц. Линейные источники ионного пучка (по 4 шт. на каждую сторону стекла) используются для предварительной обработки других сторон стекла. Каждая камера осаждения разделена на два аналогичных изолированных отсека для прямого и обратного перемещения кассет для последовательного нанесения покрытия на обе стороны стекла. Отсеки напыления оснащены высокоскоростными двойными вращающимися магнетронами с питанием от источников питания MF (по 13 двойных магнетронов на каждую сторону стекла). Каждый отсек напыления изолирован откачиваемыми газоразделительными зонами. Раздельные каналы ПЭМ и многосекционные коллекторы подачи газа для каждого сдвоенного магнетрона, а также измерение оптических параметров каждого осаждаемого слоя in-situ обеспечивают оптимальный контроль процесса и требуемую однородность покрытия.