Лакировочная машина для пленки

экспериментальный протектор PECVD Приложение Установка PECVD предназначена для производства п-и-н штабелей аморфного гидрогенизированного кремния на металлической фольге. Коатар используется в качестве экспериментального средства для оптимизации плазменно-усиленного химического парофазного осаждения функциональных покрытий и производства опытных материалов. Инжиниринг и технология Установка пилотного нанесения покрытия PECVD представляет собой рулонно-валковую установку, спроектированную для одностороннего вакуумного нанесения покрытия на металлическую фольгу шириной до 350 мм. Покрытие осаждается радиочастотным разрядом. Зона осаждения состоит из ВЧ-электрода внутри газонепроницаемого объема. В зонах осаждения создаются условия, исключающие загрязнение. Подложка предварительно нагревается перед нанесением покрытия, нагревается во время процесса осаждения и охлаждается после нанесения покрытия. Температурные градиенты на фольге не превышают 4 oC/cm. Температура на электрических приборах, изогнутой пластине и подложке контролируется термопарами и ИК-датчиками. Подложка механически поддерживается нагретой изогнутой плитой. Изогнутая плита состоит из нескольких сегментов с радиусом кривизны 7,5 метров. Покрытие оснащено симметричной реверсивной системой намотки, обеспечивающей оптимальное натяжение и обработку фольги без царапин и морщин. Насосная система состоит из механического усилителя и насосов сухой черновой обработки. Давление в каждой зоне осаждения может изменяться независимо с помощью дроссельных клапанов, размещенных в трубопроводах насоса. Система управления контролирует и управляет всеми заданными технологическими параметрами. Информационный лист Подложка: металлическая фольга Ширина основания: 350 мм Толщина субстрата: 50 ... 100 мкм Покрытие: a-SiH Максимальный диаметр рулона: 400 ... 550 мм Зоны отложения: 8 ВЧ ёмкостные разряды