Машина для нанесения покрытия тип с рулона на рулон

меловальный станок производственного масштаба PECVD Приложение Плазменно-усиленное CVD p-i-n тандемное штабелирование аморфного гидрогенизированного кремния на металлической фольге для производства многослойных поглощающих солнечную энергию слоев. Инжиниринг и технология Система нанесения покрытий PECVD представляет собой рулонно-валковое производство, спроектированное для одностороннего вакуумного нанесения покрытия на металлическую пленку шириной до 1340 мм. Зона осаждения состоит из одного или нескольких ВЧ-электродов внутри газонепроницаемого объема и настроена на осаждение вверх. Особая конфигурация зон осаждения предотвращает перекрестное загрязнение. Подложка предварительно нагревается перед нанесением покрытия, нагревается во время процесса осаждения и охлаждается после нанесения покрытия. Температурные градиенты на фольге не превышают 4 oC/cm. Температура на электрических приборах, изогнутой пластине и подложке контролируется термопарами и ИК-датчиками. Подложка механически поддерживается нагретой изогнутой пластиной. Изогнутая плита состоит из нескольких сегментов с радиусом кривизны 10 метров. Необратимая система намотки обеспечивает оптимальное натяжение и обработку фольги без царапин и морщин. Насосная система состоит из механического усилителя и насосов сухой черновой обработки. В RF-зонах имеются отдельные, дросселируемые насосные линии для независимого изменения расхода и давления газа в каждой зоне. Двухуровневая сервисная платформа, дверь с подвижной камерой и ВЧ-электроды обеспечивают простоту обслуживания. В системе управления применяется модульная концепция для простого расширения программного обеспечения управления. Информационный лист Подложка: металлическая фольга Ширина подложки: до 1340 мм Толщина субстрата: 50 ... 100 мкм Максимальный диаметр рулона: до 820 мм Покрытие: a-Si:H Скорость намотки: 0,05 ... 0,5 м/мин