Машина для нанесения покрытий с помощью магнетронного катодного распыления SAF25/50

Многофункциональные инструменты научно-исследовательского кластера SAF Приложение Многофункциональный кластерный инструмент SAF25/50 предназначен для проведения научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ, а также для подготовки технико-экономических обоснований и более общих научных работ в области тонкопленочных технологий. Техника и технология Инструмент представляет собой многофункциональную, расширяемую, модульную и гибкую систему. Инструмент состоит из камеры ввода-вывода с ионной пушкой, центральной камеры переноса подложки с радиальным телескопическим транспортным рычагом и до 7 камер осаждения. Подложка располагается горизонтально на держателе. Зоны осаждения сконфигурированы для поворота или смещения подложки в процессе осаждения вверх. Многофункциональность и гибкость инструмента основана на следующих ключевых особенностях: - Каждая камера может работать независимо, благодаря индивидуальным средствам откачки, управления и подключения к коммуникациям. - Камеры осаждения и источники осаждения взаимозаменяемы. - Центральная камера переноса предотвращает перекрестное загрязнение и обеспечивает перенос подложек без вентиляции камер. - Возможна интеграция различных типов источников осаждения, включая сублимационные термоэлементы, резистивные лодочки, тигли и магнетроны для распыления. - Сдвоенные, одинарные и двойные магнетроны могут питаться от источников постоянного тока, импульсного постоянного тока, МП и ВЧ. - Предлагается контактное и бесконтактное охлаждение и нагрев подложки. - Возможна установка перчаточного бокса для загрузки подложки в атмосфере инертного газа и магазина подложек. - Предварительно согласованное количество заглушенных фланцев, установленных на камерах, позволяет крепить индивидуальные приборы и технологические аксессуары.