Машина для нанесения покрытий катодным распылением

для металлизированной пленки

Испарительная установка EB Применение Нанесение покрытий на металлические фольги с помощью электронно-лучевых испарителей для получения металлических и оксидных слоев для различных функциональных применений. Техника и технология Установка для нанесения покрытий EB-испарением представляет собой рулонную установку периодического действия, предназначенную для использования в серийном производстве и научно-исследовательских работах. Зоны нанесения расположены вокруг двух технологических барабанов. Запатентованная конструкция вентиляционных и охлаждаемых технологических барабанов обеспечивает эффективный отвод тепла от подложки. За один проход можно осаждать двусторонние и односторонние покрытия толщиной до 5 мкм на относительно тонкие подложки. Перед осаждением покрытия производится предварительная плазменная обработка подложки и нанесение адгезионных слоев металла для обеспечения качества покрытия и прочности сцепления. Осаждение осуществляется с помощью 12 электронно-лучевых пушек (по 6 шт. на каждый барабан), генерирующих высокоскоростное испарение. Каждый испаритель включает в себя водоохлаждаемый тигель и механизм подачи слитков испарителя. Контролируемое пополнение слитков испарителя и постоянный контроль уровня расплава испарителя в каждом тигле обеспечивают равномерность покрытия. Многокамерная конструкция камеры обеспечивает необходимую разницу давлений между зонами предварительной обработки, напыления и испарения. Насосная станция выполнена на базе бортовых крионасосов CTI-Cryogenics. Программно-управляемая система намотки с датчиками нагрузки и особый метод распределения подложки на технологических барабанах обеспечивают работу с полотном без царапин и складок. Система управления работает в автоматическом и ручном режимах. Паспорт Подложка: металлическая фольга Ширина подложки: до 600 мм Толщина подложки: 20 ... 100 мкм Диаметр рулона: до 300 мм