Машина для нанесения покрытий PVD RTSP
PECVDс помощью магнетронного катодного распылениятонких слоев

машина для нанесения покрытий PVD
машина для нанесения покрытий PVD
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению
 

Характеристики

Метод
PVD, PECVD
Технология
с помощью магнетронного катодного распыления
Вид поступления
тонких слоев
Другие характеристики
вакуумная
Место применения
для микроэлектронной промышленности, для оптоэлектроники, для фотогальванического оборудования

Описание

Компания Royal Technology разработала катоды распыления с высоким выходом и высокой целевой эффективностью, особенно для распыления редких и дорогостоящих металлов: осаждение металлических пленок Au Gold, Ta Tantalum, Ag серебра. Система осаждения пленки высокой однородности служит нескольким отраслям, таким как детали электроники, медицинские инструменты, которые требуют высокой однородности пленки, многослойное осаждение. Магнетронные процессы с неуравновешенным и замкнутым полем обладают всеми преимуществами плоских магнетронов. Дополнительные преимущества и недостатки: Дополнительная ионная бомбардировка, приводящая к плотным прилипшим пленкам Возможна ионная помощь и чистка подложки Улучшенные трибологические, износостойкие и коррозионно-стойкие пленки Подходит для многослойных, сверхрешеточных, наноламинационных и нанокомпозитных пленок Слабое использование материалов Более сложная конфигурация катода / расход

Другие изделия Shanghai Royal Technology Inc.

PVD Functional Films Coating Machine

Расширенный поиск
* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.