Компания Royal Technology разработала катоды распыления с высоким выходом и высокой целевой эффективностью, особенно для распыления редких и дорогостоящих металлов: осаждение металлических пленок Au Gold, Ta Tantalum, Ag серебра. Система осаждения пленки высокой однородности служит нескольким отраслям, таким как детали электроники, медицинские инструменты, которые требуют высокой однородности пленки, многослойное осаждение.
Магнетронные процессы с неуравновешенным и замкнутым полем обладают всеми преимуществами плоских магнетронов. Дополнительные преимущества и недостатки:
Дополнительная ионная бомбардировка, приводящая к плотным прилипшим пленкам
Возможна ионная помощь и чистка подложки
Улучшенные трибологические, износостойкие и коррозионно-стойкие пленки
Подходит для многослойных, сверхрешеточных, наноламинационных и нанокомпозитных пленок
Слабое использование материалов
Более сложная конфигурация катода / расход