Замкнутое поле нарушило равновесие магнетрон брызгая система низложения, неуравновешенный магнетрон брызгая плакировка иона
Процессы неуравновешенных и замкнутого поля магнетрона имеют все преимущества плоскостных магнетронов. Дополнительные преимущества и недостатки являются следующими:
-Дополнительная бомбардировка иона приводящ в плотных, адэрентных фильмах
-Голевая передача иона и очищать субстрата возможный
-Улучшенное трибологикал, носка и коррозионностойкие фильмы
-Сговорчивый к фильмам разнослоистых, сверхрешетки, наноламинант и нанокомпосите
-Более плохое использование материалов
-Более сложные конфигурация/расход катода
Магнетрон неуравновешенных и замкнутого поля брызгая революционизированные свойства достижимые магнетроном брызгая процессы. Как успешное с улучшенным тонким фильмом трибологикал, коррозионная устойчивость и оптически свойства как эта технология были, улучшения в технологии магнетрона как раз начали. Следующий блог мы двигаем на применения вращать и цилиндрический фильма процессов и приводить магнетрона тонкий.