Метрологическая система для полупроводниковой пластины XHEMIS EX-2000

МЕТРОЛОГИЯ XRR и XRF для пластин размером до 200 мм Толщина, плотность, шероховатость и состав пленок на подложках Этот универсальный рентгеновский метрологический инструмент использует рентгеновскую флуоресценцию (XRF) и рентгеновскую отражательную способность (XRR) для высокопроизводительного неразрушающего измерения толщины и плотности подложек от ультратонких однослойных пленок до многослойных стопок для разработки технологических процессов и контроля качества пленки. РАЗРАБОТАН ДЛЯ КРУПНОСЕРИЙНОГО ПРОИЗВОДСТВА XHEMIS EX-2000 предназначен для крупносерийного производства пластин толщиной до 200 мм. Отличное выравнивание каскада перед измерением позволяет быстро и точно измерять различные образцы пластин. Высокоточное управление каскадом позволяет проводить измерения с полным картированием поверхности за короткое время. УДОБНЫЙ ДЛЯ ПОЛЬЗОВАТЕЛЯ РАЗРАБОТАННЫЙ ИНСТРУМЕНТ Если XHEMIS EX-2000 оснащен передаточным роботом, он может обрабатывать пластины автоматически. AutoCal (функция автоматической калибровки) поддерживает постоянные условия работы инструмента. Удобное программное обеспечение облегчает работу с инструментом и анализ данных. Этот инструмент можно использовать для различных целей - от исследований до производства для контроля качества. Широкий спектр материалов и применений Одновременная оценка толщины, плотности и шероховатости пленки Высокопроизводительные измерения на пластинах Абсолютные результаты XRR (не требуются калибровочные стандарты) Картирование всей пластины и высокоскоростные измерения методом РФА Высокое разрешение и точность, охватывающие толщину от ангстремов до микронов Принимает 200 мм, 150 мм, 125 мм и 100 мм пластины Доступная функция автоматической калибровки