Машина для нанесения покрытий PVD PL2011

С PLATIT PL2011 мы предлагаем вам установку для нанесения дугового покрытия, способную обрабатывать особенно большие партии. Специально разработанная карусель с 5 различными конфигурациями обеспечивает максимальную гибкость загрузки при сохранении качества покрытия. Эта установка может покрывать как большое количество инструментов малого или большого диаметра, так и смешанные грузы в одной партии. PL2011 предназначен для нанесения PVD-покрытия на инструменты диаметром до 1423 мм. Карусель может быть загружена до 1800 кг. В основе PL2011 лежит функция двойной импульсной обработки PL1011G4. Это увеличивает скорость нанесения покрытия на 30 % по сравнению со стандартным процессом. Импульсные катоды позволяют получать более гладкие PVD-покрытия благодаря улучшенному распределению дуги. Использование дуговых источников питания на легированных мишенях повышает скорость осаждения и распределение покрытия, обеспечивает более равномерную эрозию мишени и продлевает срок службы материала мишени. Технология 6 планарных дуговых катодов, 4 из которых оснащены импульсными источниками питания дуги для обеспечения пульсации катодов Процессы травления Установка для нанесения покрытий PLATIT PL2011 позволяет использовать три различных процесса травления: LGD® (Lateral Glow Discharge) с 2 катодами с затвором и 2 катодами в качестве анодов Плазменное травление с использованием аргона, тлеющего разряда Травление ионами металлов (Ti, Cr) Установка для нанесения PVD-покрытий имеет 2 двери, обеспечивающие идеальный доступ в камеру. Это упрощает обслуживание машины и катодов и ускоряет загрузку и выгрузку: В то время как готовая партия удаляется через одну дверь, следующая партия может быть загружена через другую дверь. Кроме того, всегда правильное выравнивание каретки карусели с помощью гусеничной системы облегчает загрузку и выгрузку подложек весом до макс. 1800 кг.