Машина для нанесения покрытий PVD Pi1511

Pi1511 - это установка для нанесения PVD-покрытий большого объема. Она сочетает в себе три вращающихся катода PLATIT LARC® XL в дверце и два планарных дуговых катода в задней части камеры. Сочетание круглых катодов с высокопроизводительными планарными катодами позволяет осаждать выбранные покрытия PLATIT Signature Coatings с обычной гибкостью. Катоды LARC® XL имеют очень длительное время работы и, таким образом, гарантируют высокую производительность при низкой стоимости одного покрытия. Технология 3 катода LARC® XL (LAteral Rotating XL Cathode) в двери 2 планарных катода в задней части для дугового покрытия MAC-3C (Magnetic Arc Confinement - Coil Current Compensation) для автоматической регулировки магнитного поля Быстрая смена катодов Нанесение выбранных покрытий PLATIT Signature Coatings Процессы травления С установкой для нанесения покрытий PLATIT Pi1511 можно использовать несколько технологий травления, обеспечивающих различные преимущества: LGD® (Lateral Glow Discharge) Плазменное травление с использованием аргона, тлеющего разряда Травление ионами металлов (Ti, Cr) Нагрузка и время цикла Объем покрытия: макс. ø715 x H805 мм Высота покрытия с заданной толщиной покрытия: макс. 711 мм Нагрузка: макс. 750 кг, больший вес по запросу Партии/день: 3 Модульные карусельные системы 1-12 осей Программное обеспечение Программное обеспечение PLATIT SmartSoftware (ПК и ПЛК) Простое управление и обслуживание Современный пользовательский интерфейс с навигацией по меню на сенсорном экране Визуализация процесса в реальном времени, включая регистрацию данных и управление данными Ручное и автоматическое управление процессом Возможность дистанционной диагностики и технического обслуживания