Pi1511 Большой комбинированный блок
Pi1511 представляет собой устройство для нанесения PVD-покрытий в больших объемах. Он объединяет 3 вращающихся катода PLATIT LARC® XL внутри двери с 2 плоскими катодами ARC в задней части камеры. Комбинация круглых катодов с высокопроизводительными плоскими катодами позволяет наносить фирменные покрытия PLATIT с известной гибкостью. Катоды LARC® XL имеют очень длительный срок службы и, таким образом, гарантируют высокую производительность при низкой стоимости инструмента.
Применяемые технологии:
3 x LARC® XL (LAteral Rotating XL Cathode) внутри двери и 2 x Planar Cathode с технологией ARC сзади
MAC-3C (Magnetic ARC Confinement - Компенсация тока катушки) для автоматической регулировки магнитного поля
Быстрый обмен катодами
Осаждение фирменных покрытий PLATIT
Применены технологии травления:
LGD® (Lateral Glow Discharge - боковое свечение)
Плазменное травление аргоном, светящиеся выделения
Ионное травление металлов (Ti, Cr)
Загрузка и время цикла:
Макс. объем покрытия: ø 715 x H 805 [мм]
Макс. высота покрытия при заданной толщине покрытия: 711 мм
Макс. нагрузка: 400 кг
3 партии в день за*:
Инструменты с хвостовиком (2 мкм): - ø 10 x 70 [мм], - 1080 шт., - 7,0 ч
Вставки (3 мкм): - - ø/□ 20/14 х 6 [мм], - 7200 шт., - 7,5 ч
Варочные панели (4 мкм): - - ø 80 x 180 [мм], - 48 шт., - 7,5 ч
* Среднее время цикла для типичной смеси покрытий в производственной среде.
Модульные карусельные системы: от 1 до 12 осей
Программное обеспечение:
Простота использования и обслуживания
Программное обеспечение SmartSoftware компании PLATIT (ПК и система ПЛК)
Современная система управления с сенсорным экраном
Функция статистики и справки через пользовательский интерфейс
Запись данных и отображение в реальном времени параметров процесса и расхода
Ручное и автоматическое управление процессом
Дистанционная диагностика и обслуживание
Размеры машины:
След: Ш 4900 x Г 2200 x В 2450 [мм]
---