Машина для нанесения покрытий PVD PL711

PL711 - это компактная установка для нанесения покрытий напылением по технологии HiPIMS (High Power Impulse Magnetron Sputtering). Она оснащена двумя планарными катодами HiPIMS и позволяет осаждать выбранные нитридные и углеродные покрытия (DLC2, DLC3) с использованием высокопроизводительных процессов. Плотная плазма с высокой ионизацией в карусели позволяет получать однородные покрытия и высокую скорость осаждения. Покрытия, полученные с помощью PL711, обеспечивают превосходную гладкость поверхности, сохраняя при этом высокую плотность, твердость и отличную адгезию. Технология В установке для нанесения покрытий PL711 используются 2 катода планарного напыления с технологией HiPIMS. Процессы травления В установке для нанесения покрытий PLATIT PL711 могут использоваться несколько технологий травления, обеспечивающих различные преимущества: LGD® (Lateral Glow Discharge) Плазменное травление с использованием аргона, тлеющего разряда Травление ионами металлов (Ti, Cr) Виды осаждения Напыление нитридных покрытий Реактивные и нереактивные процессы Мишени: Ti, Cr Температура нанесения покрытия до 350°C Напыление Cr и PECVD a-C:H:Si DLC2 (покрытие PECVD) Мишени: Cr Температура покрытия 180-220°C Нагрузка и время цикла Объем покрытия: макс. ø600 x H805 мм Высота нанесения с заданной толщиной покрытия: макс. 500 мм Нагрузка: макс. 250 кг, больший вес по запросу Партии/день: 2 Модульные карусельные системы 3 оси или 6 осей или 9 осей Программное обеспечение Программное обеспечение PLATIT SmartSoftware (ПК и ПЛК) Простое управление и обслуживание Современный пользовательский интерфейс с навигацией по меню на сенсорном экране Визуализация процесса в реальном времени, включая регистрацию данных и управление данными Ручное и автоматическое управление процессом Возможность дистанционной диагностики и технического обслуживания