Машина для нанесения покрытий PVD Pi411 PLUS

Благодаря модульной конструкции и широкому спектру доступных технологий PLATIT Pi411 PLUS является самой гибкой установкой для нанесения PVD-покрытий в мире. Базовая конфигурация установки для нанесения дугового покрытия с тремя вращающимися катодами в дверце может быть модульно адаптирована на месте. Ее можно модернизировать, установив дуговой или напыляемый центральный катод, а также процессы PECVD и OXI. Также уникальной для установки покрытия является гибридная технология LACS®, которая позволяет наносить покрытия одновременно с помощью дуговой и напылительной технологий. Многочисленные варианты конфигурации и высокая гибкость на основе вращающихся катодов позволяют разрабатывать индивидуальные PVD-покрытия на самом высоком уровне производительности. Таким образом, эта установка для нанесения покрытий - идеальный выбор для тех, кто не хочет идти на технологические компромиссы и ценит максимальную гибкость и производительность. Технология Установка для нанесения PVD-покрытий PLATIT Pi411 PLUS предлагает вам на выбор несколько технологических вариантов: ECO Базовая конфигурация: 3 катода LARC® (LAteral Rotating Cathode) в дверце для нанесения покрытия дугой PECVD (DLC2) Для нанесения покрытий a-C:H:Si TURBO Конфигурация ECO + катод CERC® (CEntral Rotating Cathode) с дуговой технологией нанесения покрытий для повышения производительности, а также для нанесения очень сложных покрытий OXI Для оксидных PVD-покрытий с корундовой структурой SCIL® Высокопроизводительное напыление с центрального катода Гибридный LACS® Одновременные процессы дуги и напыления с катодами LARC® в двери и центральным катодом SCIL® Процессы травления С установкой для нанесения покрытий PLATIT Pi411 PLUS можно использовать несколько технологий травления, обеспечивающих различные преимущества: LGD® (Lateral Glow Discharge) Плазменное травление с использованием аргона, тлеющего разряда