Система литографии для полупроводниковой промышленности JetStep® G35

Система JetStep® G35, разработанная для обеспечения гибкости, использует семейство высокоэффективных проекционных объективов, позволяющих получать изображения высокого разрешения для производителей плоскопанельных дисплеев. Обзор продукта Система Jetstep G35 - это система формирования изображения для крупносерийного производства дисплеев до поколения 3,5. Система JetStep G35 позволяет получать изображения с высоким разрешением до 1,5 мкм в сочетании с точностью регистрации и сшивки, необходимой для самого современного производства дисплеев высокого разрешения. Области применения - ЖК-ДИСПЛЕЙ - TFT - АМОЛЕД - Микро-светодиод Технические характеристики - Высокоточный проекционный объектив и система подсветки для разрешения до 1,5 мкм - Стандартный для промышленности 6-дюймовый формат прицела для экономически эффективного производства - Автоматизированное управление увеличением увеличивает технологическое окно - Встроенная система управления прицелом для обеспечения максимального использования - Встроенный метрологический пакет для калибровки на месте - Автофокусировка "на лету" на каждом участке экспонирования для автоматической настройки фокуса в зависимости от топологии панели - Бортовая диагностика, обеспечивающая обратную связь по производительности системы и устранению неисправностей