Система литографии для полупроводниковой промышленности JetStep® G45

Система JetStep G45 отвечает высоким требованиям индустрии мобильных дисплеев. Созданная на основе проверенной шаговой технологии, система сочетает в себе оптимизированные возможности производительности и превосходную стоимость владения. Обзор продукции Система JetStep G45 оснащена 200 мм. Оптика с низким уровнем искажений в сочетании с высокоскоростными прецизионными перемещениями позволяет системе достигать наложения <0,5 мкм. Увеличительная оптика системы JetStep G45 позволяет использовать 6-дюймовую прицельную сетку (маску), что значительно снижает стоимость оснастки по сравнению с конкурирующими технологиями. Кроме того, система занимает небольшую площадь, что минимизирует затраты на оборудование, а ее движения без трения уменьшают износ, что снижает затраты на техническое обслуживание. Совокупная экономия приводит к созданию доступного производственного процесса со сниженными CAPEX и низкой стоимостью владения (COO). Технические характеристики - Высокоточный проекционный объектив и система подсветки для разрешения до 1,5 мкм - Стандартный для отрасли 6-дюймовый формат прицела для экономически эффективного производства - Автоматизированное управление увеличением увеличивает технологическое окно - Встроенная система управления прицелом для обеспечения максимального использования - Встроенный метрологический пакет для калибровки на месте - Автофокусировка "на лету" на каждом участке экспонирования для автоматической настройки фокуса в зависимости от топологии панели - Бортовая диагностика, обеспечивающая обратную связь по производительности системы и устранению неисправностей