Прибор для контроля для полупроводниковой пластины NovusEdge®

промышленныйдля производства упаковкидефектов

Система NovusEdge включает модульные конфигурации для быстрого и надежного контроля края, надреза и обратной стороны пластины. Обзор продукции Система NovusEdge обеспечивает высокочувствительный контроль края и обратной стороны голых нешаблонных пластин для современных и перспективных узлов. Несколько модулей могут быть сконфигурированы на одной платформе автоматизации для увеличения пропускной способности при сохранении небольшой занимаемой площади для повышения стоимости владения. Решение по обработке захвата краев как для платформы автоматизации, так и для модулей контроля обеспечивает требуемую чистоту, необходимую для производства пластин. В конфигурацию может быть добавлен дополнительный высокочувствительный контроль надрезов. Обнаруженные дефекты автоматически классифицируются и сортируются во время работы, чтобы сократить ручной просмотр оператором. Система разработана как многоцелевая инспекционная и сортировочная система для контроля качества в конце линии 300-мм нешаблонных пластин. Система позволяет идентифицировать, инспектировать и сортировать пластины в соответствии с произвольно задаваемыми рецептами. Области применения - Внутрипроцессный контроль нешаблонных пластин на месте производства пластин. - Входящий контроль нешаблонных пластин у поставщиков субсборок и испытаний, производителей интегральных устройств и литейных заводов. - Квалификация и мониторинг технологического оборудования в сочетании с тестовыми пластинами. Технические характеристики - Субмикронная краевая чувствительность - Чувствительность обратной стороны до нанометрового уровня - Полный охват контроля надрезов - Дымка - Возможность сортировки - Гибкая конфигурация инструмента - Автоматическая классификация дефектов с задаваемыми клиентом классами дефектов