Визуальный прибор для контроля Dragonfly® G3

3Dдля полупроводниковой пластиныдля производства упаковки

Система Dragonfly G3, сочетающая в себе 2D и 3D технологии для обнаружения дефектов, снижающих урожайность, и измерения характеристик, критически важных для современных технологий передней обработки и упаковки, перевернет ожидания отрасли в отношении производительности, точности и надежности. Обзор продукта Уникальная технология двумерной визуализации обеспечивает быстрый и надежный контроль субмикронных дефектов для удовлетворения сегодняшних потребностей НИОКР и завтрашних требований производства. Запатентованная технология Truebump® компании Onto Innovation сочетает в себе несколько методов 3D-метрологии для обеспечения точной 100%-ной метрологии высоты неровностей и копланарности. Эта новая технология лежит в основе продукции Onto Innovation, которая обеспечивает высокую производительность, повышенную чувствительность в светлом и темном поле и решает проблемы, связанные с инспекцией больших упаковок. Система Dragonfly G3 предлагает технологию Clearfind® для невизуального обнаружения остатков. Для специализированных рынков, таких как датчики изображения КМОП (CIS), система Dragonfly использует комбинацию освещения под косым углом со сложной обработкой изображений и алгоритмом машинного обучения для обнаружения низкоконтрастных дефектов в области активного пикселя датчика. Система Dragonfly G3 тесно интегрирована с управляющим и аналитическим программным обеспечением для анализа и просмотра в режиме реального времени, проверки и просмотра дефектов в ИК-диапазоне, а также предоставляет возможность автономного просмотра. Когда в процессе контроля генерируется огромное количество данных о неровностях, у пользователей теперь есть инструменты для визуализации данных, корреляции вариаций процесса и повышения урожайности благодаря анализу данных вплоть до уровня неровностей.