Прибор для контроля для полупроводниковой пластины AWX FSI
для частицпромышленныйдефектов

прибор для контроля для полупроводниковой пластины
прибор для контроля для полупроводниковой пластины
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению
 

Характеристики

Применение
для полупроводниковой пластины, для частиц
Сектор
промышленный
Другие характеристики
дефектов, для сортировки, автоматизированный
Ширина диапазона контроля

150 mm, 200 mm, 300 mm
(6 in, 8 in, 12 in)

Описание

Система AWX FSI необходима производителям вафель для обеспечения быстрого контроля частиц на критически важных технологических инструментах. Обзор продукции Непаттернированные пластины требуют контроля качества, обеспечиваемого системой AWX FSI, с лазерной темнопольной инспекцией для обнаружения частиц, царапин, дефектов области и микрошероховатостей (дымки) на голых пластинах. Система AWX FSI способна измерять различные подложки, материалы и размеры пластин, включая голый кремний, легированные или покрытые пластины. Автоматизированная обработка различных типов открытых кассет и устройство предварительного выравнивания обеспечивают широкую гибкость при использовании этого инструмента в различных условиях, от НИОКР до производства и контроля качества. Инспекционный инструмент AWX может работать с пластинами 150 мм, 200 мм и 300 мм, что позволяет автоматически сортировать пластины на основе результатов инспекции. Технические характеристики - Автоматизированная инспекция пластин 150/200/300 мм - Чувствительность до нанометрового уровня - Дымка - Возможность сортировки - Гибкая конфигурация инструментов - Автоматическая классификация дефектов

---

Каталоги

Для этого товара не доступен ни один каталог.

Посмотреть все каталоги Onto Innovation Inc.
* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.