Система AWX FSI необходима производителям вафель для обеспечения быстрого контроля частиц на критически важных технологических инструментах.
Обзор продукции
Непаттернированные пластины требуют контроля качества, обеспечиваемого системой AWX FSI, с лазерной темнопольной инспекцией для обнаружения частиц, царапин, дефектов области и микрошероховатостей (дымки) на голых пластинах. Система AWX FSI способна измерять различные подложки, материалы и размеры пластин, включая голый кремний, легированные или покрытые пластины.
Автоматизированная обработка различных типов открытых кассет и устройство предварительного выравнивания обеспечивают широкую гибкость при использовании этого инструмента в различных условиях, от НИОКР до производства и контроля качества. Инспекционный инструмент AWX может работать с пластинами 150 мм, 200 мм и 300 мм, что позволяет автоматически сортировать пластины на основе результатов инспекции.
Технические характеристики
- Автоматизированная инспекция пластин 150/200/300 мм
- Чувствительность до нанометрового уровня
- Дымка
- Возможность сортировки
- Гибкая конфигурация инструментов
- Автоматическая классификация дефектов
---