Измерительная система диаметра NEXIV VMZ-NWL200

положениякритического размерапространственная

Обзор
VMZ-NWL200 — это автоматическая система измерения пластин, интегрирующая видеомеханическую систему NEXIV и загрузчик пластин NWL200. С помощью современных методов обработки изображений система автоматически выполняет высокоскоростные, высокоточные измерения 6-дюймовых и 8-дюймовых пластин в кассетах и предоставляет данные, пригодные для контроля технологических процессов в полупроводниковом производстве.

Надёжность, эффективность и удобство эксплуатации

• Высокая надёжность: полностью автоматические и воспроизводимые измерения снижают влияние оператора; оптика высокого качества обеспечивает чёткое изображение для точного обнаружения кромок.
• Высокая эффективность: запуск проверки одним щелчком; производительность измерений существенно выше, чем у традиционных измерительных микроскопов, что снижает общую стоимость владения.
• Удобство эксплуатации: GUI отображает графику пластины, выбор чипов осуществляется кликом мыши; специализированное ПО упрощает процедуры контроля процесса и ускоряет обратную связь с производством.

Ключевые преимущества

• Интегрированная измерительная ячейка, объединяющая видеосистему NEXIV и автоматический загрузчик NWL200.
• Автоматическая и безопасная инспекция 6" и 8" пластин в кассетах.
• Высокоскоростные, высокоточные измерения, разработанные для контроля процессов и требований Quality 4.0.

Основные функции

• Автоматическая обработка и измерение пластин 6" и 8" в кассетах, включая функции перемещения и позиционирования.
• Надёжные программы инспекции с возможностью создания, выполнения и хранения, а также полной прослеживаемостью.
• Содействует повышению выхода продукции за счёт быстрого предоставления качественных измерительных данных системам управления производством.
• Выбор чипов и конфигурация измерений через GUI для упрощения задач оператора.

Технические характеристики

• Устройство: видеомерающая система – NEXIV (VMZ-S3020 Type2 / Type3 / TypeTZ); загрузчик – NWL200
• Размер пластины: 6", 8" (стандарт SEMI/JEIDA)
• Совместимые кассеты: 6" – PA182-60MB-06XX (Entegris); 8" – PA192-80M-06XX (Entegris)
• Пропускная способность (ориентир передачи): 6 мин 45 с для 25 пластин (без учета времени измерения)
• Минимум L/S: 500 линий/мм
• Температура эксплуатации: 19–26 °C
• Влажность эксплуатации: менее 70 % RH
• Габариты (Ш x Г): 4125 x 3040 мм
• Напряжение питания: AC 100–120 V / 200–240 V
• Частота сети: 50 Hz / 60 Hz
• Потребляемый ток: 7.5 A / 3.7 A
• Вакуум: -80 kPa

Примечания

• *1 Перед продажей требуется оценка способности передачи пластин.
• *2 Указанное время передачи относится к 25 пластинам и не включает время измерения.