Измерительная система критического размера NEXIV VMZ-S

поле зрения (FOV)расстояниякоординатная

Обзор продукта
Серия видеоизмерительных систем NEXIV VMZ‑S компании Nikon предназначена для контроля размеров и высот в промышленных микрозадачах. Серия включает модели VMZ‑S3020, VMZ‑S4540 и VMZ‑S6555; доступно шесть типов оптики/зум‑головок, TTL‑сканирующий лазерный автоподстрой AF входит в стандартную комплектацию.

Скорость и точность

• TTL‑сканирующий лазерный AF обеспечивает высокоскоростное сканирование по высоте до 1000 точек/с для быстрого получения профиля поверхности.
• Минимальное отображение 0,01 мкм и воспроизводимость лазерного AF 2σ ≤ 0,5 мкм для трассируемых измерений.
• Разработано для непрерывных линий контроля с автоматическими измерениями, устойчивыми к вариациям положения компонентов.

Ключевые особенности

• Шесть оптических типов (Type 1, 2, 3, 4, TZ, A) охватывают различные поля зрения и увеличения; Type 1–3 обеспечивают низкие искажения и высокий NA, Type 4 и TZ — высокое увеличение.
• 8‑сегментный кольцевой осветитель с несколькими углами падения (белые светодиоды) для улучшенного захвата кромок; режимы освещения зависят от типа: эпископическое, диаскопическое, темное поле.
• Возможность обнаружения тонких прозрачных слоев (~0,1 мм) с помощью TTL‑лазерного AF (не доступно для Type A).
• Изображающие зонды и опции зондирования с низкими ошибками зондирования для измерения мелких элементов (P_FV2D,MPE 0,3 мкм; P_F2D,MPE 0,8 мкм).

Основные функции

• Высокоточные, высокоскоростные размерные измерения в различных диапазонах увеличения с использованием оптики с высоким NA.
• Гибкие стратегии освещения и специальные опции для надежного измерения сложных кромок и элементов.
• Черно‑белая или цветная 1/3" CMOS‑камера и бесшовный оптический зум для рабочих процессов наблюдения и измерения.
• Интеграция с программным обеспечением для измерений Nikon и опциональными SDK для автоматизации и управления данными.

Технические характеристики (кратко)
Модель | VMZ‑S3020 | VMZ‑S4540 | VMZ‑S6555
Ходы XYZ | 300 × 200 × 200 мм (TZ низкое увеличение: 250 × 200 × 200 мм) | 450 × 400 × 200 мм (TZ: 400 × 400 × 200 мм) | 650 × 550 × 200 мм (TZ: 600 × 550 × 200 мм)
Мин. отсчет | 0,01 мкм (все модели)
Макс. масса образца | 20 кг (гарантируемая точность: 5 кг) | 40 кг (гарантируемая точность: 20 кг) | 50 кг (гарантируемая точность: 30 кг)
Максимально допустимая ошибка (MPE) | EUX/EUY, MPE = 1,2 + 4L/1000 µm; EUXY, MPE = 2,0 + 4L/1000 µm; EUZ, MPE = 1,2 + 5L/1000 µm
Ошибка зондирования | P_F2D,MPE = 0,8 µm; P_FV2D,MPE = 0,3 µм
Камера | 1/3" CMOS (Ч/Б или цветная)
Рабочее расстояние | Type 1–3: 50 мм; Type 4: 30 мм; Type TZ: (высокое увел.) 11 мм / (низкое) 32 мм; Type A: 73,5 мм (63 мм с Laser AF)
Воспроизводимость Laser AF | 2σ ≤ 0,5 µм
Освещение | Эпископическое, диаскопическое, 8‑сегментное кольцевое освещение с несколькими углами падения (белые LED); тип‑зависимые конфигурации
Питание / потребление | AC100–240 V, 50/60 Hz / 2–4 A
Габариты и масса | Зависит от модели — см. модельные данные по корпусу и контроллеру.

Технические данные

• Серия: NEXIV VMZ‑S (VMZ‑S3020, VMZ‑S4540, VMZ‑S6555).
• Мин. отсчет: 0,01 мкм.
• TTL‑лазерный AF: сканирование до 1.000 точек/с; воспроизводимость 2σ ≤ 0,5 µм.
• Точности зондирования: P_FV2D,MPE 0,3 µм; P_F2D,MPE 0,8 µм.
• Освещение: эпископическое, диаскопическое, сегментированное кольцевое освещение; опции темного поля.
• Камера: 1/3" CMOS (Ч/Б / цвет).
• Питание: AC100–240 V, 50/60 Hz.
• Установочные габариты и масса различаются в зависимости от модели; при планировании установки ознакомьтесь с модельными размерами.