Линейный координатный стол DSP50

XYZпьезоэлектрический3 оси

движущая сила до 15 Н ультракомпактный многофазный каскад для системы контроллеров NOVA Наш новый линейный каскад DSP50 для нового поколения контроллеров NOVA способен выдерживать усилие блокировки до 16 Н при диапазоне перемещения 10 мм. Благодаря специализированному многофазному контроллеру он имеет скорость до 1 мм/с и чрезвычайно равномерное перемещение за счет использования нескольких пьезоинерционных приводов. Оптический датчик позволяет определять перемещение с точностью до 1 нм и высокой повторяемостью. Линейная ступень доступна в виде одноосной, двухосной или трехосной системы позиционирования для стандартных и вакуумных условий. Очень компактная конструкция, воспроизводимость и высокая точность дают преимущества для многих областей применения (например, оптические измерения и юстировка). Технические данные Ширина - 50 мм Высота - 16 мм Глубина - 50 мм Макс. нагрузка Момент (Mx) - 6,5 Нсм Момент (My) - 6,5 Нсм Момент (Mz) - 6,5 Нсм Усилие блокировки (Fx) - 16 Н Опорное усилие (Fy, Fz) - 0 Н Точность наведения Угол рысканья - 20 угловых секунд Угол тангажа - 60 угловых секунд Вертикальное отклонение - 1 мкм Боковое отклонение - 2 мкм Информация об измерениях Контрольная метка - средняя Разрешение - от 1 мкм до 1 нм Напряжение питания - 5 В Потребляемая мощность - 200 мА