для замкнутого контура (разрешение до 50 нм)
для системы NOVA
Миниатюрные переводные каскады с пьезоэлектрическим инерционным приводом для системы NOVA. Стандартное издание
Технические данные
Ширина - 70 мм
Высота - 20 мм
Глубина - 70 мм
Momentum (Mx) - 5 Нсм
Momentum (My) - 5 Нсм
Момент (Mz) - 5 Нсм
Усилие блокировки (Fx) - 9 Н
Опорная сила (Fy, Fz) - 30 Н
Точность наведения
Угол рысканья - 20 угловых секунд
Угол тангажа - 60 угловых секунд
Вертикальное отклонение - 1 мкм
Боковое отклонение - 2 мкм
Информация об измерениях
Контрольная метка - центр
Разрешение - от 1 мкм до 50 нм
Напряжение питания - 5 В
Потребляемая мощность - 150 мА
---