для работы в замкнутом контуре (разрешение до 50 нм)
многоосевые комбинации без переходных пластин
Миниатюрный переводной столик с пьезоэлектрическим инерционным приводом с измерительной системой.
Технические данные
Ширина - 52 мм
Высота - 12,5 мм
Глубина - 30 мм
Макс. нагрузка
Момент (Mx) - 5 Нсм
Момент (My) - 5 Нсм
Момент (Mz) - 5 Нсм
Усилие блокировки (Fx) - 4,5 Н
Опорное усилие (Fy, Fz) - 30 Н
Точность наведения
Угол рысканья - 170 угловых секунд
Угол тангажа - 160 угловых секунд
Вертикальное отклонение - 3 мкм
Боковое отклонение - 3 мкм
Информация об измерениях
Контрольная метка - средняя
Разрешение - от 1 мкм до 50 нм
Напряжение питания - 5 В
Потребляемая мощность - 150 мА
---