Пьезоэлектрический регулятор положения MS30

вертикальныймногоосевойминиатюрный

различные возможности монтажа для работы в замкнутом контуре (разрешение до 50 нм) многоосевые комбинации без переходных пластин Миниатюрный переводной столик с пьезоэлектрическим инерционным приводом с измерительной системой. Технические данные Ширина - 30 мм Высота - 12,5 мм Глубина - 30 мм Макс. нагрузка Момент (Mx) - 5 Нсм Момент (My) - 5 Нсм Момент (Mz) - 5 Нсм Усилие блокировки (Fx) - 4,5 Н Опорная сила (Fy, Fz) - 30 Н Точность наведения Угол рысканья - 120 угловых секунд Угол тангажа - 60 угловых секунд Вертикальное отклонение - 1 мкм Боковое отклонение - 2 мкм Информация об измерениях Контрольная метка - средняя Разрешение - от 1 мкм до 50 нм Напряжение питания - 5 В Потребляемая мощность - 150 мА