Система Logitech Orbis CMP - это прецизионный напольный инструмент CMP, идеально подходящий для научно-исследовательских сред. Как правило, система Orbis CMP используется в приложениях, где проводятся опытно-промышленные испытания с оптимальными аналитическими возможностями и повышенной производительностью обработки.
Возможности системы могут быть адаптированы для:
Обратное производство ИС,
Производство микроэлектромеханических систем (МЭМС),
Опто-МЭМС
Производство био-МЭМС.
Низкая стоимость решения - высокая ценность результатов
Для проведения пилотных технологических испытаний обычно требуются дорогостоящие системы производственного уровня, однако Orbis обеспечивает такую возможность в экономически эффективной системе. Включая в себя улучшенные характеристики и высокотехнологичные функциональные возможности, система Orbis CMP System обеспечивает превосходные возможности обработки по сравнению с теми, которые обычно предлагаются в системах такого размера.
Гибкость в эксплуатации
Помимо способности воспроизводить условия производственного уровня, система Orbis также подходит для более традиционного использования в научно-исследовательской деятельности. Это включает в себя мелкосерийное производство и тестирование опытного производства. Система способна обрабатывать любые пластины, подложки и детали диаметром до 200 мм (8″) с использованием специального держателя. Как и в предыдущем оборудовании Logitech CMP, можно использовать шаблоны и прокладки или устанавливать образцы непосредственно на держатели образцов.
Ключевые особенности
Идеально подходит для научно-исследовательских сред и пилотных испытаний процессов
Высокопроизводительное рабочее пространство для образцов размером до 2 200 мм (8″)
Загружаемые данные для анализа параметров процесса
Компактность в лабораторных масштабах
Стандартное промышленное кондиционирование прокладок для поддержания оптимального срока службы прокладок
---