Для достижения этой цели компания Logitech разработала передовые системы химической полировки в качестве финишного процесса для широкого спектра материалов. Системы CP3000 и CP4000 обеспечивают превосходную полировку поверхности с минимальным поверхностным и подповерхностным повреждением структуры кристаллической решетки.
Система CP3000 - это компактная система, разработанная для размещения в существующем вытяжном шкафу. Система CP3000 может обрабатывать до 3х 112 мм образцов одновременно.
CP4000 - это интегрированная система удаления дыма, обеспечивающая безопасное и экономически эффективное решение для агрессивных операций химической полировки. Эта система может одновременно обрабатывать 1х 200 мм (8″) пластину на 207 мм подложке, 3х 100 мм (4″) на 112 мм подложке, 3х 150 мм (6″) образца на 160 мм подложке или 9х 75 мм (3″) образцов на 83 мм подложке. (также возможно изготовление нескольких образцов меньшего размера и образцов уникальных размеров)
Эти системы химической полировки устойчивы к химическим веществам, используемым в процессах полировки, например, к бром-метанолу, пероксидным щелочам или кислотным травлениям.
Краткое описание характеристик включает в себя:
Коррозионностойкая конструкция из полипропилена, PVDF и полиуретана, окрашенного эпоксидной смолой.
Адаптируемое расположение деки для размещения образцов разного размера и геометрии.
Тщательное внимание к аспектам безопасности и удобству оператора.
Пригодность для большинства типов агрессивных травителей (например, бром-метанол)
Ключевые особенности
Минимальное повреждение подповерхностного слоя
Возможность полировки пластин самых разных размеров, до 200 мм (8″) на CP4000
Прочная, устойчивая к коррозии конструкция
Тонкая полировка полупроводниковых пластин и электрооптических кристаллов методом травления
Доступны две версии: CP3000 и CP4000
---