Установка для полупроводниковых пластин VTC-100PA

VTC-100PA - это сертифицированное CE настольное устройство для нанесения спин-покрытий, предназначенное для нанесения спин-покрытий на небольшие подложки диаметром до 100 мм при макс. 10000 об/мин. Привод головки представляет собой прецизионный серводвигатель постоянного тока с точным управлением скоростью и ускорением. Подложку можно удерживать с помощью вакуума (для тонких объектов). Устройство имеет удобную клавиатуру и ЖК-дисплей для программирования различных параметров до 12 программ, 6 сегментов. Продолжительность спина, скорость спина и ускорение могут быть запрограммированы с передней панели. Все компоненты устройства защищены от коррозии, что делает его совместимым с чистыми помещениями. Основные характеристики программируемая скорость отжима 500 ~ 10000 об/мин Принимает субстрат от 5 мм до 5" Камера из полипропилена для защиты от коррозии. Одно входное отверстие для газа на верхней части крышки, которое может заполнить инертный газ во время нанесения покрытия В комплект входит один пластиковый шприц 20 мл Подходит для использования газа Ar (вакуумный насос должен находиться вне перчаточного бокса) Защитная блокировка встроена в крышку Вакуумный патрон и вакуумный насос Размер камеры: диаметр 150 мм 2 комплекта полипропиленовых антикоррозийных вакуумных патронов разных размеров (Φ44 мм, Φ9 мм), которые могут удерживать субстрат диаметром от 5 мм до 5" (см. фото ниже) Нажмите на картинку ниже справа, чтобы посмотреть демонстрационное видео о том, как использовать 9 мм вакуумный патрон для удержания 5 мм образца. Один безмасляный вакуумный насос производительностью 120 л/мин входит в стандартную комплектацию, пожалуйста, нажмите на картинку ниже для получения подробной информации. Программируемое управление Продолжительность до 60 секунд Ускорение: 100 - 2000 об/мин/сек регулируемое Точность: < 5% Цифровая панель управления может хранить 12 программ, каждая программа имеет 6 сегментов, программируемых для скорости, ускорения и продолжительности отжима (пожалуйста, нажмите на картинку внизу-справа, чтобы увидеть типичные настройки программы)